DST1-300 具有最小的臺(tái)式占地面積之一,可為高分辨率 SEM 和 TEM 樣品制備提供 DC 和 RF 濺射。 DST1-300 系列提供以下版本,以滿足大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。
DST1-300 系列提供
臺(tái)式濺射系統(tǒng)
以下版本可滿足大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。
DST1-300 潔凈真空 室
DST1-L 至 DST3:真空室為圓柱形耐熱玻璃,外徑為 300 mm,高度為 200 mm (DST1-4) / 外徑為 170 mm x 高度為 140 mm (DST1-2)。配有一個(gè)內(nèi)部安裝的渦輪分子泵,由隔膜泵提供支持,該隔膜泵可引入清潔真空,而不會(huì)產(chǎn)生普通擴(kuò)散泵通常存在的油污染。